C07800 - SEMI C78 - Test Method for Determining Roughness of Polymer Surfaces Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems by Atomic Force Microscopy StdTpc-Chemical & Gas Testing この文書は，FPD用マスクの欠陥用語を定義する。このスタンダードにより，技術会議や商談の場などで使用される用語が明確になり，マスクに関する標準化が促進されることをねらいとしている。

この文書は，FPD用マスクの欠陥用語を定義する。このスタンダードにより，技術会議や商談の場などで使用される用語が明確になり，マスクに関する標準化が促進されることをねらいとしている。

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SEMI C30-1223 (technical revision)

This Specification covers requirements for all grades of dichlorosilane (SiH2Cl2) used in the semiconductor industry

C07800 - SEMI C78 - Test Method for Determining Roughness of Polymer Surfaces Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems by Atomic Force Microscopy StdTpc-Chemical & Gas Testing この文書は，FPD用マスクの欠陥用語を定義する。このスタンダードにより，技術会議や商談の場などで使用される用語が明確になり，マスクに関する標準化が促進されることをねらいとしている。This Standard was technically approved by the Liquid Chemicals Global Technical Committee. This edition was approved for publication by the global Audits and Reviews Subcommittee on August 17, 2018. Available at www. semiviews. org and www. semi. org in December 2018; originally published January 2013. NOTICE: This Document was reapproved with minor editorial changes. This Document provides a test method for determining the roughness of polymer